Verfügbarkeit: Leistungsstarke Infrarotemitter mit schrägwinkelbedampften Emissionsschichten

Leistungsstarke Infrarotemitter mit schrägwinkelbedampften Emissionsschichten:

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Ott, Tobias 1986- (VerfasserIn)
Format:	Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Dresden TUDpress 2020
Schriftenreihe:	Dresdner Beiträge zur Sensorik 77
Schlagwörter:	Dünne Schicht Metallfolie Nichtdispersive IR-Spektroskopie Heizleiter Strukturierung Infrarotstrahler Hochschmelzendes Metall Infrarotdetektor Poröser Stoff Gasanalyse Hochschulschrift
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adam_text	INHALTSVERZEICHNIS 1 EINLEITUNG 1 2 GRUNDLAGEN THERMISCHER STRAHLUNGSQUELLEN 5 2.1 PHYSIKALISCHE GRUNDLAGEN SCHWARZER STRAHLER ........................... 5 2.1.1 PLANCK SCHES STRAHLUNGSGESETZ ......................................... 6 2.1.2 STEFAN-BOLTZMANN-GESETZ ..................................................................... 7 2.1.3 WIEN SCHES VERSCHIEBUNGSGESETZ ...................................... 8 2.2 THERMISCHE STRAHLUNGSQUELLEN MIT HEIZLEITERN ........................... 8 2.2.1 TEMPERATUR UND SPEKTRALER EMISSIONSGRAD DES HEIZLEITERS 9 2.2.2 STRAHLUNGSMODULATIONSTIEFE .............................................. 11 2.2.3 ELEKTRISCHER WIDERSTAND DES HEIZLEITERS ........................... 12 3 STAND DER FORSCHUNG UND TECHNIK 15 3.1 HISTORISCHE ENTWICKLUNG VON INFRAROTSTRAHLUNGSQUELLEN .............. 15 3.2 AUFBAU UND EIGENSCHAFTEN VON INFRAROTSTRAHLUNGSQUELLEN .... 20 3.2.1 MIKROGLUEHLAMPEN ............................................................ 20 3.2.2 FOLIENEMITTER .................................................................... 22 3.2.3 DUENNSCHICHTEMITTER ......................................................... 24 3.2.4 FAZIT ................................................................................. 26 3.3 STAND DER FORSCHUNG VON DUENNSCHICHTEMITTERN ........................... 28 3.4 ZIELE DER ARBEIT ............................................................................ 32 4 THERMODYNAMISCHES MODELL THERMISCHER INFRAROTEMIT TER 33 4.1 THERMISCHES WIDERSTANDSMODELL VON IR-EMITTERN ...................... 33 4.2 MODULATIONSTIEFE ......................................................................... 36 4.2.1 AUFHEIZ- UND ABKUEHLKURVEN THERMISCHER EMITTER ........... 36 4.2.2 DEFINITIONEN FUER DIE MODULATIONSTIEFE .............................. 37 4.2.3 EINFLUESSE AUF DIE MODULATIONSTIEFE ................................... 39 4.3 STRAHLUNGSHUB ............................................................................... 44 4.4 FAZIT ............................................................................................... 46 5 INFRAROTEMITTER MIT MAEANDERFOERMIGEN FILAMENTEN 47 5.1 ENTWURFSPARAMETER VON FOLIENEMITTERN ...................................... 47 5.2 MAEANDERFOERMIGE HEIZLEITER ......................................................... 51 5.3 MATERIALIEN FUER HEIZWENDELN ...................................................... 56 5.3.1 ANFORDERUNGEN ................................................................. 56 5.3.2 THERMORMUEDUNGSBESTAENDIGKEIT ...................................... 57 5.3.3 GEOMETRISCHE BAUTEILGESTALTUNG ...................................... 59 5.3.4 WERKSTOFFAUSWAHL .............................................................. 59 6 GLAD-ABSCHEIDUNG VON TANTAL-EMISSIONSSCHICHTEN 63 6.1 SCHRAEGWINKELBEDAMPFUNG ............................................................ 63 6.2 EINFLUSS DER ABSCHEIDEPARAMETER .............................................. 69 6.2.1 SCHICHTSTRUKTUR ................................................................. 70 6.2.2 SAEULENGEOMETRIE .............................................................. 74 6.2.3 STRUKTURVERTEILUNG ............................................................ 75 6.2.4 POROSITAETSPROFIL ................................................................. 80 6.2.5 OPTISCHE EIGENSCHAFTEN ..................................................... 83 6.3 ZUSAMMENFASSUNG ....................................................................... 88 7 CHARAKTERISIERUNG DER IR-STRAHLUNGSQUELLEN 91 7.1 SPEKTRALER EMISSIONSGRAD ............................................................ 91 7.1.1 MESSUNG ............................................................................. 91 7.1.2 VERGLEICH DER EMITTERTYPEN ............................................... 92 7.2 TEMPERATURVERTEILUNG AUF DER STRAHLENDEN FLAECHE ....................... 94 7.2.1 DURCHWAERMUNGSKOEFFIZIENT ............................................... 94 7.2.2 MESSUNG DES DURCHWAERMUNGSKOEFFIZIENTEN ................... 95 7.3 LEISTUNGSKURVE UND STRAHLUNGSENERGIEEFFIZIENZ ......................... 97 7.4 ELEKTRISCHE EIGENSCHAFTEN ............................................................ 99 7.5 MODULATIONSTIEFE ............................................................................. 101 7.6 FAZIT .................................................................................................. 102 8 ZUSAMMENFASSUNG 105 LITERATUR 109
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