Analysis of the basal plane dislocation density and thermomechanical stress during 100 mm PVT growth of 4H-SiC:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteiligte Personen: Steiner, Johannes (VerfasserIn), Roder, Melissa (VerfasserIn), Nguyen, Binh Duong (VerfasserIn), Sandfeld, Stefan (VerfasserIn), Danilewsky, Andreas N. (VerfasserIn), Wellmann, Peter 1966- (VerfasserIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Erlangen ; Nürnberg Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg 2019
Schlagwörter:
Links:https://nbn-resolving.org/urn:nbn:de:bvb:29-opus4-118553
https://open.fau.de/handle/openfau/11855
Umfang:1 Online-Ressource