Gasphasenabscheidung zur Herstellung von Halbleiterstrukturen auf der Basis oxidischer Kupferverbindungen:
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Sprache: | Deutsch |
Veröffentlicht: |
München
Verlag Dr. Hut
2017
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Schriftenreihe: | Elektrotechnik
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Umfang: | II, 129 Seiten Illustrationen, Diagramme 21 cm x 14.8 cm, 213 g |
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