Micro process engineering: fundamentals, devices, fabrication, and applications
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere beteiligte Personen: Kockmann, Norbert (HerausgeberIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Weinheim Wiley-VCH [2013]
Schriftenreihe:Advanced micro & nanosystems 5
Schlagwörter:
Links:http://ebookcentral.proquest.com/lib/th-deggendorf/detail.action?docID=1161985
Umfang:1 Online-Ressource (XXII, 507 Seiten) Illustrationen, Diagramme
ISBN:9783527675050
9783527335008