Einfluss der Schichtdicke und der Substratvorbehandlung auf die elektromechanischen Eigenschaften von gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen:
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| Format: | Thesis/Dissertation Book |
| Language: | German |
| Published: |
München
Verl. Dr. Hut
2014
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| Edition: | 1. Aufl. |
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| Physical Description: | IX, 165 S. Ill., graph. Darst. 240 mm x 170 mm, 340 g |
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