Einfluss der Schichtdicke und der Substratvorbehandlung auf die elektromechanischen Eigenschaften von gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen:
Gespeichert in:
| Beteilige Person: | |
|---|---|
| Format: | Hochschulschrift/Dissertation Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
München
Verl. Dr. Hut
2014
|
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schlagwörter: | |
| Umfang: | IX, 165 S. Ill., graph. Darst. 240 mm x 170 mm, 340 g |
| ISBN: | 9783843915694 3843915695 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a22000008c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV042162955 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 141103s2014 gw ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 020 | |a 9783843915694 |c Pb. : EUR 84.00 (DE), EUR 86.40 (AT), sfr 109.00 (freier Pr.) |9 978-3-8439-1569-4 | ||
| 020 | |a 3843915695 |9 3-8439-1569-5 | ||
| 024 | 3 | |a 9783843915694 | |
| 035 | |a (OCoLC)896689394 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV042162955 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c XA-DE-BY | ||
| 049 | |a DE-12 |a DE-91 | ||
| 084 | |a 620 |2 sdnb | ||
| 100 | 1 | |a Schneider, Michael |d 1983- |e Verfasser |0 (DE-588)1060326310 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Einfluss der Schichtdicke und der Substratvorbehandlung auf die elektromechanischen Eigenschaften von gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen |c Michael Schneider |
| 250 | |a 1. Aufl. | ||
| 264 | 1 | |a München |b Verl. Dr. Hut |c 2014 | |
| 300 | |a IX, 165 S. |b Ill., graph. Darst. |c 240 mm x 170 mm, 340 g | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 502 | |a Zugl.: Wien, Techn. Univ., Diss., 2014 | ||
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027602559 | |
Datensatz im Suchindex
| DE-BY-TUM_call_number | 0001 2015 A 930 |
|---|---|
| DE-BY-TUM_katkey | 2056574 |
| DE-BY-TUM_location | Mag |
| DE-BY-TUM_media_number | 040007904027 |
| _version_ | 1821935309874528257 |
| any_adam_object | |
| author | Schneider, Michael 1983- |
| author_GND | (DE-588)1060326310 |
| author_facet | Schneider, Michael 1983- |
| author_role | aut |
| author_sort | Schneider, Michael 1983- |
| author_variant | m s ms |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV042162955 |
| ctrlnum | (OCoLC)896689394 (DE-599)BVBBV042162955 |
| discipline | Maschinenbau / Maschinenwesen |
| edition | 1. Aufl. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01224nam a22003378c 4500</leader><controlfield tag="001">BV042162955</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">141103s2014 gw ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783843915694</subfield><subfield code="c">Pb. : EUR 84.00 (DE), EUR 86.40 (AT), sfr 109.00 (freier Pr.)</subfield><subfield code="9">978-3-8439-1569-4</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3843915695</subfield><subfield code="9">3-8439-1569-5</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="3" ind2=" "><subfield code="a">9783843915694</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)896689394</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV042162955</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">XA-DE-BY</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">620</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schneider, Michael</subfield><subfield code="d">1983-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)1060326310</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Einfluss der Schichtdicke und der Substratvorbehandlung auf die elektromechanischen Eigenschaften von gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen</subfield><subfield code="c">Michael Schneider</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1. Aufl.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">München</subfield><subfield code="b">Verl. Dr. Hut</subfield><subfield code="c">2014</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IX, 165 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield><subfield code="c">240 mm x 170 mm, 340 g</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Wien, Techn. Univ., Diss., 2014</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027602559</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV042162955 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-12-20T17:03:48Z |
| institution | BVB |
| isbn | 9783843915694 3843915695 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-027602559 |
| oclc_num | 896689394 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | IX, 165 S. Ill., graph. Darst. 240 mm x 170 mm, 340 g |
| publishDate | 2014 |
| publishDateSearch | 2014 |
| publishDateSort | 2014 |
| publisher | Verl. Dr. Hut |
| record_format | marc |
| spellingShingle | Schneider, Michael 1983- Einfluss der Schichtdicke und der Substratvorbehandlung auf die elektromechanischen Eigenschaften von gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen |
| subject_GND | (DE-588)4113937-9 |
| title | Einfluss der Schichtdicke und der Substratvorbehandlung auf die elektromechanischen Eigenschaften von gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen |
| title_auth | Einfluss der Schichtdicke und der Substratvorbehandlung auf die elektromechanischen Eigenschaften von gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen |
| title_exact_search | Einfluss der Schichtdicke und der Substratvorbehandlung auf die elektromechanischen Eigenschaften von gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen |
| title_full | Einfluss der Schichtdicke und der Substratvorbehandlung auf die elektromechanischen Eigenschaften von gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen Michael Schneider |
| title_fullStr | Einfluss der Schichtdicke und der Substratvorbehandlung auf die elektromechanischen Eigenschaften von gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen Michael Schneider |
| title_full_unstemmed | Einfluss der Schichtdicke und der Substratvorbehandlung auf die elektromechanischen Eigenschaften von gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen Michael Schneider |
| title_short | Einfluss der Schichtdicke und der Substratvorbehandlung auf die elektromechanischen Eigenschaften von gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen |
| title_sort | einfluss der schichtdicke und der substratvorbehandlung auf die elektromechanischen eigenschaften von gesputterten aluminiumnitriddunnfilmen |
| topic_facet | Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT schneidermichael einflussderschichtdickeunddersubstratvorbehandlungaufdieelektromechanischeneigenschaftenvongesputtertenaluminiumnitriddunnfilmen |
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Bibliotheksmagazin
| Signatur: |
0001 2015 A 930
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|---|---|
| Exemplar 1 | Ausleihbar Am Standort |