Schneider, M. (2014). Einfluss der Schichtdicke und der Substratvorbehandlung auf die elektromechanischen Eigenschaften von gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen (1. Aufl.). Verl. Dr. Hut.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Schneider, Michael. Einfluss Der Schichtdicke Und Der Substratvorbehandlung Auf Die Elektromechanischen Eigenschaften Von Gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen. 1. Aufl. München: Verl. Dr. Hut, 2014.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Schneider, Michael. Einfluss Der Schichtdicke Und Der Substratvorbehandlung Auf Die Elektromechanischen Eigenschaften Von Gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen. 1. Aufl. Verl. Dr. Hut, 2014.
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