APA (7th ed.) Citation

Schneider, M. (2014). Einfluss der Schichtdicke und der Substratvorbehandlung auf die elektromechanischen Eigenschaften von gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen (1. Aufl.). Verl. Dr. Hut.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Schneider, Michael. Einfluss Der Schichtdicke Und Der Substratvorbehandlung Auf Die Elektromechanischen Eigenschaften Von Gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen. 1. Aufl. München: Verl. Dr. Hut, 2014.

MLA (9th ed.) Citation

Schneider, Michael. Einfluss Der Schichtdicke Und Der Substratvorbehandlung Auf Die Elektromechanischen Eigenschaften Von Gesputterten Aluminiumnitriddünnfilmen. 1. Aufl. Verl. Dr. Hut, 2014.