Mikromechanisch weit abstimmbare oberflächen-emittierende Laser mit Vertikalresonator:
Gespeichert in:
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| Format: | Hochschulschrift/Dissertation Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Göttingen
Cuvillier
2013
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
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| Umfang: | 189 S. Ill., graph. Darst. 21 cm |
| ISBN: | 9783954044108 |
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N IS
1 EINLEITUNG 11
2 THEORIE PASSIVER RESONATOREN 21
2.1 VIELSTRAHLINTERFERENZ IM FABRY-PROT
FILTER 21
2.2 AKTIVE STEUERUNG DER
RESONANZWELLENLAENGE 25
2.3 GAUSSSTRAHL UND
RESONATORMODEN 27
2.3.1 FREIER GAUSSSTRAHL 27
2.3.2 TRANSVERSALE RESONATORMODEN 29
2.4 FASERGEKOPPELTER OPTISCHER RESONATOR 33
2.4.1 KOPPLUNG MIT
EINMODENFASERN 34
2.5 BRAGG-REFLEKTOREN 37
2.5.1 AUFBAU UND
KONZEPT DES BRAGG-REFLEKTORS 37
2.5.2 EINDRINGTIEFE 41
3 WELLENLAENGENABSTIMMBARE FILTER 43
3.1 KONZEPT EINES MIKRO-ELEKTROMECHANISCH
ABSTIMMBAREN FILTERS .... 43
3.2 TECHNOLOGIE DER MIKROMECHANIK 44
3.2.1 MATERIALSYSTEM 45
3.2.2 HERSTELLUNGSVERFAHREN 47
3.3 CHARAKTERISIERUNG DES STEUERBAREN
OPTISCHEN FILTERS 51
3.3.1 EIGENSCHAFTEN DER DBR 51
3.3.2 FILTERGEOMETRIE 52
3.3.3 TRANSMISSIONSCHARAKTERISTIK 54
3.3.4 ELEKTROTHERMISCHE AKTORIK 55
3.3.5 ELEKTROSTATISCHE AKTORIK 60
3.3.6 POLARISATIONSABHAENGIGKEIT DER
TRANSMISSION 68
3.4 ANWENDUNG IM OPTISCHEN WELLENLAENGENMULTIPLEX-NETZWERK 69
3.4.1 VERSUCHSANORDNUNG UND
MESSERGEBNISSE 71
3.5 ZUSAMMENFASSUNG DES KAPITELS UND
AUSBLICK 73
4 THEORIE AKTIVER RESONATOREN 77
4.1 STRUKTUR EINES VCSEL 78
9
HTTP://D-NB.INFO/1034834010
INHALTSVERZEICHNIS
4.2 UMLAUFBEDINGUNG 79
4.3 RATENGLEICHUNGEN 81
4.4 STROM- UND OPTISCHE AUSGANGSLEISTUNG 83
4.5 FUELLFAKTORR 84
5 OBERFLAECHEN-MIKRO-ELEKTROMECHANISCH ABSTIMMBARE VCSEL 85
5.1 KONZEPT EINES MIKRO-ELEKTROMECHANISCH ABSTIMMBAREN
VCSELS ... 85
5.2 HERSTELLUNG UND
AUFBAU DES HALBLEITER-RESONATORS 86
5.2.1 BASISSTRUKTUR DES HALB-VCSEL 87
5.2.2 GRUNDPRINZIP UND AUFBAU
DES VERGRABENEN
TUNNELKONTAKTS . 89
5.2.3 INTEGRIERTER DIELEKTRISCHER BRAGG-SPIEGEL 92
5.3 SPEKTRALE EIGENSCHAFTEN DES HALB-VCSEL 95
5.4 MIKRO-MECHANISCHE SPIEGELMEMBRANEN 97
5.4.1 HERSTELLUNGSVERFAHREN 98
5.4.2 OPTISCHE EIGENSCHAFTEN DER
SPIEGELMEMBRAN 101
5.5 SIMULATION DES STEUERBAREN VCSEL 102
5.5.1 TRANSFERMATRIXMETHODE 103
5.5.2 SIMULATION DER FELDVERTEILUNG
IN EINEM
OPTISCHEN RESONATOR . 108
5.5.3 SIMULATIONSERGEBNISSE 109
5.6 CHARAKTERISIERIMG DER
STEUERBAREN MEMS-VCSEL 113
5.6.1 ELEKTROTHERMISCH GESTEUERTER MEMS-VCSEL 115
5.6.2 ELEKTROSTATISCH GESTEUERTER MEMS-VCSEL 125
5.7 ANWENDUNG IM OPTISCHEN WELLENLAENGENMULTIPLEXNETZWERK 133
5.8 ZUSAMMENFASSUNG DES KAPITELS UND
AUSBLICK 136
6 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 141
A SCHICHTAUFBAU DES MEMS-VCSEL 147
B MEMBRANGEOMETRIEN UND BTJ-RADIEN 149
C LITHOGRAPHIEMASKEN 151
D TECHNOLOGISCHER ANHANG 157
SYMBOL- UND ABKUERZUNGSVERZEICHNIS 161
LITERATURVERZEICHNIS 171
LEBENSLAUF 189
10
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