Micro process engineering: fundamentals, devices, fabrication, and applications
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere beteiligte Personen: Kockmann, Norbert (HerausgeberIn)
Format: Buch
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Weinheim Wiley-VCH 2013
Schriftenreihe:Advanced micro & nanosystems 5
Schlagwörter:
Umfang:XXII, 507 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:3527335005
9783527335008