Verfügbarkeit: Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators

Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators:

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Xu, Xin (VerfasserIn)
Format:	Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2011
Schriftenreihe:	Berichte aus der Mikrosystemtechnik
Schlagwörter:	MEMS Hysteresekurve Messsystem Mikrosensor Mikrofertigung Positionierung Ferromagnetische Schicht Mikroaktor Magnetfeldsensor Elektrolinearmotor Hochschulschrift
Links:	http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=024641606&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA
Umfang:	V, 98 S. Ill., graph. Darst. 21 cm, 156 g
ISBN:	9783844005905

Internformat

MARC


LEADER	00000nam a2200000 c 4500
001	BV039780770
003	DE-604
005	20120120
007	t\|
008	111230s2011 xx ad\|\| m\|\|\| 00\|\|\| ger d
015			\|a 11,N50 \|2 dnb
015			\|a 12,A01 \|2 dnb
016	7		\|a 1017778582 \|2 DE-101
020			\|a 9783844005905 \|c kart. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 91.60 (freier Pr.) \|9 978-3-8440-0590-5
024	3		\|a 9783844005905
035			\|a (OCoLC)770721484
035			\|a (DE-599)DNB1017778582
040			\|a DE-604 \|b ger \|e rakddb
041	0		\|a ger
049			\|a DE-83
082	0		\|a 621.3815 \|2 22/ger
082	0		\|a 681.2 \|2 22/ger
084			\|a ZN 8270 \|0 (DE-625)157607: \|2 rvk
084			\|a 621.3 \|2 sdnb
084			\|a 670 \|2 sdnb
100	1		\|a Xu, Xin \|e Verfasser \|0 (DE-588)1018111867 \|4 aut
245	1	0	\|a Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators \|c Xin Xu
264		1	\|a Aachen \|b Shaker \|c 2011
300			\|a V, 98 S. \|b Ill., graph. Darst. \|c 21 cm, 156 g
336			\|b txt \|2 rdacontent
337			\|b n \|2 rdamedia
338			\|b nc \|2 rdacarrier
490	0		\|a Berichte aus der Mikrosystemtechnik
502			\|a Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2011
650	0	7	\|a MEMS \|0 (DE-588)4824724-8 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Hysteresekurve \|0 (DE-588)4161157-3 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Messsystem \|0 (DE-588)4169536-7 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Mikrosensor \|0 (DE-588)4561097-6 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Mikrofertigung \|0 (DE-588)7523640-0 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Positionierung \|0 (DE-588)4140478-6 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Ferromagnetische Schicht \|0 (DE-588)4291507-7 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Mikroaktor \|0 (DE-588)4620161-0 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Magnetfeldsensor \|0 (DE-588)4262432-0 \|2 gnd \|9 rswk-swf
650	0	7	\|a Elektrolinearmotor \|0 (DE-588)4128077-5 \|2 gnd \|9 rswk-swf
655		7	\|0 (DE-588)4113937-9 \|a Hochschulschrift \|2 gnd-content
689	0	0	\|a MEMS \|0 (DE-588)4824724-8 \|D s
689	0	1	\|a Mikroaktor \|0 (DE-588)4620161-0 \|D s
689	0	2	\|a Elektrolinearmotor \|0 (DE-588)4128077-5 \|D s
689	0	3	\|a Mikrosensor \|0 (DE-588)4561097-6 \|D s
689	0	4	\|a Magnetfeldsensor \|0 (DE-588)4262432-0 \|D s
689	0	5	\|a Positionierung \|0 (DE-588)4140478-6 \|D s
689	0	6	\|a Messsystem \|0 (DE-588)4169536-7 \|D s
689	0	7	\|a Mikrofertigung \|0 (DE-588)7523640-0 \|D s
689	0	8	\|a Ferromagnetische Schicht \|0 (DE-588)4291507-7 \|D s
689	0	9	\|a Hysteresekurve \|0 (DE-588)4161157-3 \|D s
689	0		\|5 DE-604
856	4	2	\|m DNB Datenaustausch \|q application/pdf \|u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=024641606&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA \|3 Inhaltsverzeichnis
943	1		\|a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024641606

Datensatz im Suchindex

_version_	1819352344963317760
adam_text	IMAGE 1 INHALT ZUSAMMENFASSUNG IV 1 EINLEITUNG 1 1.1 AUSWAHL DES AKTUATORPRINZIPS 2 1.2 GLIEDERUNG DER ARBEIT 3 1.3 LITERATUR ZU KAPITEL 1 4 2 STAND DER TECHNIK 5 2.1 RELUKTANZKRAFT MEMS AKTUATOREN 5 2.2 LORENTZKRAFT MEMS AKTUATOREN 9 2.3 AUF MAGNETOSTATISCHEN KRAEFTEN BASIERENDE MEMS AKTUATOREN 13 2.4 LITERATUR ZU KAPITEL 2 18 3 DESIGN UND SIMULATION 20 3.1 GESAMTKONZEPT DES MIKROSENSOR-AKTUATOR-SYSTEMS 20 3.2 ANALYSE DER ELEKTROMAGNETISCHEN AKTUATORKRAEFTE 21 3.2.1 MATERIALAUSWAHL (LAEUFERANKER UND SPULENKERN) 21 3.2.2 ANALYTISCHE BERECHNUNG DER ELEKTROMAGNETISCHEN KRAEFTE 22 3.2.3 FEM-ANALYSE DER ELEKTROMAGNETISCHEN KRAEFTE 26 3.3 DESIGN UND SIMULATION DES MIKROFCDERSYSTEMS 29 3.3.1 FESTLEGUNG DER ENTWURFSFEDERKONSTANTE IN X - RICHTUNG (K*) 29 3.3.2 FESTLEGUNG DER ENTWURFSFEDERKONSTANTE IN Z - RICHTUNG (K Z) 30 3.3.3 DESIGNVARIANTEN UND SIMULATION DES MIKROFEDERSYSTCMS 32 3.4 LAEUFERCHIP-DESIGN 38 3.4.1 LEITERBAHNSTRUKTUREN AUF DEM LAEUFEREHIP 39 3.5 THERMISCHE SIMULATION DER MIKROFEDERSTRUKTUREN MIT AU-LCITERBAHNEN 42 3.6 STATORCHIP-DESIGN 45 3.6.1 DESIGN DER MIKROSPULEN 46 3.6.2 STATORCHIP - VARIANTEN 47 3.7 LITERATUR ZU KAPITEL 3 48 4 TECHNOLOGIEENTWICKLUNG UND -OPTIMIERUNG 49 4.1 HERSTELLUNG DES LAEUFERCHIPS 49 4.1.1 LAEUFERCHIP - VARIANTEN 50 4.1.2 PROZESSDESIGN 51 4.1.3 DETAILLIERTE DARSTELLUNG DER EINZELNEN PROZESSSCHRITTE 52 4.1.4 PROZESS-OPTIMIERUNG 59 4.1.5 VEREINZELN DER LAEUFERCHIPS 64 4.1.6 HERSTELLUNG DES LAEUFERANKERS 65 4.2 HERSTELLUNG DES STATORCHIPS 66 4.2.1 PROZESSDESIGN 67 4.2.2 ERLAEUTERUNG DER EINZELNEN PROZESSSCHRITTE 70 4.3 HERSTELLUNG DES SPULENKERNS 75 4.4 LITERATUR ZU KAPITEL 4 78 5 ASSEMBLING DES MEMS AKTUATORS 79 BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN HTTP://D-NB.INFO/1017778582 DIGITALISIERT DURCH IMAGE 2 5.1 INTEGRATION VON LAEUFERCHIP UND LAEUFERANKER 79 5.2 SCNSORCHIP-BONDING 80 5.3 INTEGRATION VON STATORCHIP UND SPULENKERN 81 5.4 ASSEMBLING VON LAEUFER- UND STATORCHIP 82 5.5 LITERATUR ZU KAPITEL 5 87 TEST 88 6.1 MESSUNG DES ELEKTRISCHEN WIDERSTANDS DER AU-LEITERBAHNEN 88 6.2 WIDERSTAND DER AG - LEITKLEBERKONTAKTE 89 6.3 BESTIMMUNG DER FEDERKONSTANTE DES MIKROFEDERSYSTCMS 89 6.4 WIDERSTAND DER MIKROSPULEN 91 6.5 FUNKTIONSTEST DES AKTUATORS 92 6.6 LITERATUR ZU KAPITEL 6 94 DISKUSSION UND AUSBLICK 95 7.1 DISKUSSION 95 7.2 AUSBLICK 96
any_adam_object	1
author	Xu, Xin
author_GND	(DE-588)1018111867
author_facet	Xu, Xin
author_role	aut
author_sort	Xu, Xin
author_variant	x x xx
building	Verbundindex
bvnumber	BV039780770
classification_rvk	ZN 8270
ctrlnum	(OCoLC)770721484 (DE-599)DNB1017778582
dewey-full	621.3815 681.2
dewey-hundreds	600 - Technology (Applied sciences)
dewey-ones	621 - Applied physics 681 - Precision instruments and other devices
dewey-raw	621.3815 681.2
dewey-search	621.3815 681.2
dewey-sort	3621.3815
dewey-tens	620 - Engineering and allied operations 680 - Manufacture of products for specific uses
discipline	Handwerk und Gewerbe / Verschiedene Technologien Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik
format	Thesis Book
fullrecord	<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02728nam a2200661 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV039780770</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20120120 </controlfield><controlfield tag="007">t\|</controlfield><controlfield tag="008">111230s2011 xx ad\|\| m\|\|\| 00\|\|\| ger d</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">11,N50</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">12,A01</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">1017778582</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9783844005905</subfield><subfield code="c">kart. : EUR 45.80 (DE), EUR 45.80 (AT), sfr 91.60 (freier Pr.)</subfield><subfield code="9">978-3-8440-0590-5</subfield></datafield><datafield tag="024" ind1="3" ind2=" "><subfield code="a">9783844005905</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)770721484</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)DNB1017778582</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">621.3815</subfield><subfield code="2">22/ger</subfield></datafield><datafield tag="082" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">681.2</subfield><subfield code="2">22/ger</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 8270</subfield><subfield code="0">(DE-625)157607:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">621.3</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">670</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Xu, Xin</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)1018111867</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators</subfield><subfield code="c">Xin Xu</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Aachen</subfield><subfield code="b">Shaker</subfield><subfield code="c">2011</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">V, 98 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield><subfield code="c">21 cm, 156 g</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Berichte aus der Mikrosystemtechnik</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2011</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">MEMS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4824724-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Hysteresekurve</subfield><subfield code="0">(DE-588)4161157-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Messsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169536-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrosensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4561097-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrofertigung</subfield><subfield code="0">(DE-588)7523640-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Positionierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4140478-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ferromagnetische Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4291507-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikroaktor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4620161-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Magnetfeldsensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4262432-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektrolinearmotor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4128077-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">MEMS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4824724-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mikroaktor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4620161-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Elektrolinearmotor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4128077-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Mikrosensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4561097-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Magnetfeldsensor</subfield><subfield code="0">(DE-588)4262432-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Positionierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4140478-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="6"><subfield code="a">Messsystem</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169536-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikrofertigung</subfield><subfield code="0">(DE-588)7523640-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="8"><subfield code="a">Ferromagnetische Schicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4291507-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="9"><subfield code="a">Hysteresekurve</subfield><subfield code="0">(DE-588)4161157-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=024641606&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024641606</subfield></datafield></record></collection>
genre	(DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content
genre_facet	Hochschulschrift
id	DE-604.BV039780770
illustrated	Illustrated
indexdate	2024-12-20T16:02:25Z
institution	BVB
isbn	9783844005905
language	German
oai_aleph_id	oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-024641606
oclc_num	770721484
open_access_boolean
owner	DE-83
owner_facet	DE-83
physical	V, 98 S. Ill., graph. Darst. 21 cm, 156 g
publishDate	2011
publishDateSearch	2011
publishDateSort	2011
publisher	Shaker
record_format	marc
series2	Berichte aus der Mikrosystemtechnik
spellingShingle	Xu, Xin Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators MEMS (DE-588)4824724-8 gnd Hysteresekurve (DE-588)4161157-3 gnd Messsystem (DE-588)4169536-7 gnd Mikrosensor (DE-588)4561097-6 gnd Mikrofertigung (DE-588)7523640-0 gnd Positionierung (DE-588)4140478-6 gnd Ferromagnetische Schicht (DE-588)4291507-7 gnd Mikroaktor (DE-588)4620161-0 gnd Magnetfeldsensor (DE-588)4262432-0 gnd Elektrolinearmotor (DE-588)4128077-5 gnd
subject_GND	(DE-588)4824724-8 (DE-588)4161157-3 (DE-588)4169536-7 (DE-588)4561097-6 (DE-588)7523640-0 (DE-588)4140478-6 (DE-588)4291507-7 (DE-588)4620161-0 (DE-588)4262432-0 (DE-588)4128077-5 (DE-588)4113937-9
title	Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators
title_auth	Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators
title_exact_search	Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators
title_full	Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators Xin Xu
title_fullStr	Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators Xin Xu
title_full_unstemmed	Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators Xin Xu
title_short	Entwurf und Realisierung eines elektromagnetischen 3-Positionen MEMS Aktuators
title_sort	entwurf und realisierung eines elektromagnetischen 3 positionen mems aktuators
topic	MEMS (DE-588)4824724-8 gnd Hysteresekurve (DE-588)4161157-3 gnd Messsystem (DE-588)4169536-7 gnd Mikrosensor (DE-588)4561097-6 gnd Mikrofertigung (DE-588)7523640-0 gnd Positionierung (DE-588)4140478-6 gnd Ferromagnetische Schicht (DE-588)4291507-7 gnd Mikroaktor (DE-588)4620161-0 gnd Magnetfeldsensor (DE-588)4262432-0 gnd Elektrolinearmotor (DE-588)4128077-5 gnd
topic_facet	MEMS Hysteresekurve Messsystem Mikrosensor Mikrofertigung Positionierung Ferromagnetische Schicht Mikroaktor Magnetfeldsensor Elektrolinearmotor Hochschulschrift
url	http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=024641606&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA
work_keys_str_mv	AT xuxin entwurfundrealisierungeineselektromagnetischen3positionenmemsaktuators

Verfügbarkeit

‌

Inhaltsverzeichnis