Precision nanometrology: sensors and measuring systems for nanomanufacturing
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Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person: Gao, Wei 1973- (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: London [u.a.] Springer 2010
Schriftenreihe:Springer Series in Advanced Manufacturing
Links:http://deposit.dnb.de/cgi-bin/dokserv?id=3439893&prov=M&dok_var=1&dok_ext=htm
Umfang:XIII, 354 S. zahlr. Ill., graph. Darst. 235 mm x 155 mm
ISBN:9781849962537