Verfügbarkeit: Reaktive Abscheidung von SiOxNy-Schichten durch Puls-Magnetron-Sputtern

Reaktive Abscheidung von SiOxNy-Schichten durch Puls-Magnetron-Sputtern:

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Weber, Jörn Christian (VerfasserIn)
Format:	Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	München Verl. Dr. Hut 2010
Ausgabe:	1. Aufl.
Schriftenreihe:	Ingenieurwissenschaften
Schlagwörter:	Hochschulschrift
Umfang:	V, 196 S. graph. Darst. 210 mm x 148 mm, 265 gr.
ISBN:	9783868534528

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Bestandsangaben von Bibliotheksmagazin
Signatur:	0001 2010 A 4089 Lageplan
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