Semiconductor process modeling:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteiligte Personen: Joppich, Wolfgang (VerfasserIn), Mijalković, Slobodan (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Nichtbestimmte Sprache
Veröffentlicht: Sankt Augustin GMD - Forschungszentrum Informationstechnik 1997
Schriftenreihe:Arbeitspapiere der GMD 1054
Umfang:23 S. graph. Darst.
ISSN:0723-0508