Verfügbarkeit: Halbleiterprüfung | Technische Universität München

Halbleiterprüfung: Licht- und Rasterelektronenmikroskopie

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Beteiligte Personen:	Schäfer, Wolfgang (VerfasserIn), Terlecki, Georg 1945- (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Nichtbestimmte Sprache
Veröffentlicht:	Heidelberg Hüthig 1986
Schlagwörter:	Prüftechnik Optik Mikroskopie Halbleiter Rasterelektronenmikroskopie
Umfang:	259 S. Ill.
ISBN:	377851007X

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