Microelectronic materials and processes: [Proceedigs of the NATO Advanced Study Institute on Microelectronic materials and processes, Il Ciocco, Castelvecchio Pascoli, Italy, June 30 - July 11, 1986]
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere beteiligte Personen: Levy, R. A. (HerausgeberIn)
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:Nichtbestimmte Sprache
Veröffentlicht: Dordrecht [u.a.] Kluwer 1986
Schriftenreihe:NATO ASI Series : Serie E, Applied science 164
Schlagwörter:
Umfang:XIV, 985 S. Ill.
ISBN:0792301471
0792301544