Verfügbarkeit: PCVD von dotierten amorphen Siliziumwasserstoffschichten in einer Hochfrequenz-Niederdruck-Gasentladung

PCVD von dotierten amorphen Siliziumwasserstoffschichten in einer Hochfrequenz-Niederdruck-Gasentladung:

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Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Albert, Matthias (VerfasserIn)
Format:	Hochschulschrift/Dissertation Buch
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Veröffentlicht:	Dresden 1993
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