Verfügbarkeit: Messung der Ionenenergieverteilung an der geerdeten Elektrode in einem Einscheiben-Planarplasmaätzreaktor

Messung der Ionenenergieverteilung an der geerdeten Elektrode in einem Einscheiben-Planarplasmaätzreaktor:

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Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Steinbach, Andreas (VerfasserIn)
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Veröffentlicht:	1989
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