Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente:
Gespeichert in:
| Beteilige Person: | |
|---|---|
| Format: | Hochschulschrift/Dissertation Buch |
| Sprache: | Nichtbestimmte Sprache |
| Veröffentlicht: |
1984
|
| Schlagwörter: | |
| Beschreibung: | Auch als: Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe ; 3732 |
| Umfang: | 88 S. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV024569603 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20090910 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 090924s1984 xx m||| 00||| und d | ||
| 035 | |a (OCoLC)916816914 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV024569603 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakwb | ||
| 041 | |a und | ||
| 049 | |a DE-83 | ||
| 100 | 1 | |a Münchmeyer, Dietrich |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente |c von Dietrich Münchmeyer |
| 264 | 1 | |c 1984 | |
| 300 | |a 88 S. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Auch als: Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe ; 3732 | ||
| 502 | |a Karlsruhe, Univ., Diss., 1984 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Röntgentiefenlithographie |0 (DE-588)4602774-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Laval-Düse |0 (DE-588)4166958-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Bildschärfe |0 (DE-588)4145440-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Herstellung |0 (DE-588)4159653-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Trenndüsenverfahren |0 (DE-588)4185980-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Röntgentiefenlithographie |0 (DE-588)4602774-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Laval-Düse |0 (DE-588)4166958-7 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Herstellung |0 (DE-588)4159653-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Röntgentiefenlithographie |0 (DE-588)4602774-9 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Bildschärfe |0 (DE-588)4145440-6 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Trenndüsenverfahren |0 (DE-588)4185980-7 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 940 | 1 | |q TUB-nvm | |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018543170 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1818968019557154816 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Münchmeyer, Dietrich |
| author_facet | Münchmeyer, Dietrich |
| author_role | aut |
| author_sort | Münchmeyer, Dietrich |
| author_variant | d m dm |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV024569603 |
| ctrlnum | (OCoLC)916816914 (DE-599)BVBBV024569603 |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01702nam a2200445 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV024569603</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20090910 </controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">090924s1984 xx m||| 00||| und d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)916816914</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV024569603</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Münchmeyer, Dietrich</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente</subfield><subfield code="c">von Dietrich Münchmeyer</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1984</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">88 S.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Auch als: Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe ; 3732</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Karlsruhe, Univ., Diss., 1984</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Röntgentiefenlithographie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4602774-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Laval-Düse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4166958-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Bildschärfe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4145440-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Herstellung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4159653-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Trenndüsenverfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185980-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Röntgentiefenlithographie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4602774-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Laval-Düse</subfield><subfield code="0">(DE-588)4166958-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Herstellung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4159653-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Röntgentiefenlithographie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4602774-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Bildschärfe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4145440-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Trenndüsenverfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4185980-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="940" ind1="1" ind2=" "><subfield code="q">TUB-nvm</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018543170</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV024569603 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-12-20T13:58:02Z |
| institution | BVB |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-018543170 |
| oclc_num | 916816914 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-83 |
| owner_facet | DE-83 |
| physical | 88 S. |
| psigel | TUB-nvm |
| publishDate | 1984 |
| publishDateSearch | 1984 |
| publishDateSort | 1984 |
| record_format | marc |
| spelling | Münchmeyer, Dietrich Verfasser aut Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente von Dietrich Münchmeyer 1984 88 S. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Auch als: Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: Kernforschungszentrum Karlsruhe ; 3732 Karlsruhe, Univ., Diss., 1984 Röntgentiefenlithographie (DE-588)4602774-9 gnd rswk-swf Laval-Düse (DE-588)4166958-7 gnd rswk-swf Bildschärfe (DE-588)4145440-6 gnd rswk-swf Herstellung (DE-588)4159653-5 gnd rswk-swf Trenndüsenverfahren (DE-588)4185980-7 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Röntgentiefenlithographie (DE-588)4602774-9 s Laval-Düse (DE-588)4166958-7 s Herstellung (DE-588)4159653-5 s DE-604 Bildschärfe (DE-588)4145440-6 s Trenndüsenverfahren (DE-588)4185980-7 s |
| spellingShingle | Münchmeyer, Dietrich Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente Röntgentiefenlithographie (DE-588)4602774-9 gnd Laval-Düse (DE-588)4166958-7 gnd Bildschärfe (DE-588)4145440-6 gnd Herstellung (DE-588)4159653-5 gnd Trenndüsenverfahren (DE-588)4185980-7 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4602774-9 (DE-588)4166958-7 (DE-588)4145440-6 (DE-588)4159653-5 (DE-588)4185980-7 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente |
| title_auth | Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente |
| title_exact_search | Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente |
| title_full | Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente von Dietrich Münchmeyer |
| title_fullStr | Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente von Dietrich Münchmeyer |
| title_full_unstemmed | Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente von Dietrich Münchmeyer |
| title_short | Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer Trenndüsenelemente |
| title_sort | untersuchungen zur abbildungsgenauigkeit der rontgentiefenlithografie mit synchrotronstrahlung bei der herstellung technischer trenndusenelemente |
| topic | Röntgentiefenlithographie (DE-588)4602774-9 gnd Laval-Düse (DE-588)4166958-7 gnd Bildschärfe (DE-588)4145440-6 gnd Herstellung (DE-588)4159653-5 gnd Trenndüsenverfahren (DE-588)4185980-7 gnd |
| topic_facet | Röntgentiefenlithographie Laval-Düse Bildschärfe Herstellung Trenndüsenverfahren Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT munchmeyerdietrich untersuchungenzurabbildungsgenauigkeitderrontgentiefenlithografiemitsynchrotronstrahlungbeiderherstellungtechnischertrenndusenelemente |