Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit Synchrotronstrahlung:
Gespeichert in:
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| Format: | Hochschulschrift/Dissertation Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum
1988
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| Ausgabe: | Als Ms. vervielfältigt |
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| Umfang: | 96 S. Ill., graph. Darst. |
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