Elastische Parallelkinematische Führungsgetriebe für ultrapräzise Bewegungen im Vakuum: Konzepte, Komponenten und Konfigurationen der BESSY-Spiegelsysteme
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person: Noll, Tino 1962- (VerfasserIn)
Format: Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: 2003
Schlagwörter:
Umfang:138 Bl. Ill., graph. Darst.