Verfügbarkeit: Das Entwicklungsverhalten komplexer LIGA-Mikrostrukturen

Das Entwicklungsverhalten komplexer LIGA-Mikrostrukturen:

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Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Zanghellini, Jürgen (VerfasserIn)
Format:	Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Karlsruhe Forschungszentrum Karlsruhe 1998
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schlagwörter:	Optimierung Verfahrenstechnik LIGA-Verfahren Entwicklung > Fotografie Mikrostruktur Hochschulschrift
Umfang:	74 S. Ill., graph. Darst.

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