Micro mechanical systems: principles and technology
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Weitere beteiligte Personen: Fukuda, Toshio (HerausgeberIn)
Format: Buch
Sprache:Nichtbestimmte Sprache
Veröffentlicht: Amsterdam [u.a.] North-Holland 2001
Ausgabe:2. impr.
Schriftenreihe:Handbook of sensors and actuators vol. 6
Schlagwörter:
Umfang:VIII, 268 S. Ill., graph. Darst.
ISBN:0444823638