Availability: Entwicklung und Charakterisierung eines CMOS-Prozesses mit minimierter Anzahl an Lithographieebenen

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Main Author:	Jank, Michael (Author)
Format:	Book
Language:	German
Published:	Aachen Shaker 2007
Series:	Erlanger Berichte Mikroelektronik 2007,1
Subjects:	MOS-FET - CMOS - Maskentechnik - Halbleitersubstrat - Ionenimplantation - Prozessoptimierung Halbleitersubstrat Prozessoptimierung CMOS Maskentechnik Ionenimplantation MOS-FET Hochschulschrift
Item Description:	Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2006
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