Entwicklung und Charakterisierung eines CMOS-Prozesses mit minimierter Anzahl an Lithographieebenen:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Shaker
2007
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| Schriftenreihe: | Erlanger Berichte Mikroelektronik
2007,1 |
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| Beschreibung: | Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2006 |
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