Verfügbarkeit: Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD

Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD:

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Leistner, Trixi 1973- (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 2005
Schriftenreihe:	Erlanger Berichte Mikroelektronik 2005,2
Schlagwörter:	Elektrische Eigenschaft Titanorganische Verbindungen Ausgangsmaterial MOCVD-Verfahren Halbleitersubstrat MIS Organische Flüssigkeit Dünne Schicht Titandioxid Isolatorbauteil Hochschulschrift
Beschreibung:	Zugl.:Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2005
Umfang:	132 S. Ill., graph. Darst.
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