Optical microscanners and microspectrometers using thermal bimorph actuators:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person: Lammel, Gerhard (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Boston Kluwer Academic 2002
Schriftenreihe:Microsystems 8
Schlagwörter:
Beschreibung:Includes bibliographical references (p. 229-253) and index
Umfang:xii, 268 p. ill. : 25 cm
ISBN:0792376552