Verfügbarkeit: Das Entwicklungsverhalten komplexer LIGA-Mikrostrukturen

Das Entwicklungsverhalten komplexer LIGA-Mikrostrukturen:

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Bibliographische Detailangaben
Beteiligte Personen:	Zanghellini, Jürgen (VerfasserIn), El-Kholi, Aida 1961- (VerfasserIn), Mohr, Jürgen (VerfasserIn)
Format:	Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Karlsruhe FZKA 1998
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte 6114
Schlagwörter:	Verfahrenstechnik Entwicklung > Fotografie Mikrostruktur Optimierung LIGA-Verfahren Hochschulschrift
Umfang:	74 S. Ill., graph. Darst.

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