Automatische Defektinspektion am Beispiel von Stapelfehlern, D-Defekten und Bulk-Micro-Defekten bei Siliciumscheiben: Diplomarbeit FB06 Physikalische Technik
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person: Lang, Jürgen (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Nichtbestimmte Sprache
Veröffentlicht: München Fachhochschule 1997
Beschreibung:Keine Fernleihe möglich
Umfang:VI, 60 Bl. zahlr. graph. Darst.