Radio frequency capacitive discharges:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteiligte Personen: Rajzer, Jurij P. (VerfasserIn), Sneider, Michail N. (VerfasserIn), Yatsenko, Nikolai A. (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Englisch
Russisch
Veröffentlicht: Boca Raton, Fla. [u.a.] CRC Press 1995
Schlagwörter:
Umfang:XII, 292 S.: graph. Darst.
ISBN:0849386446
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Signatur: 0001 97 A 1544 Lageplan
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