Entwicklung eines LIGA-Mikrosystems zur Messung mechanischer Eigenschaften von Mikroproben:
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Format: | Hochschulschrift/Dissertation Buch |
Sprache: | Deutsch |
Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
1997
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Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
Schriftenreihe: | Forschungszentrum <Karlsruhe>: Wissenschaftliche Berichte
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