Ratz, G. (1995). Niedertemperatur-Silicium-Epitaxie durch plasmaunterstützte chemische Abscheidung aus der Gasphase.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Ratz, Günter. Niedertemperatur-Silicium-Epitaxie Durch Plasmaunterstützte Chemische Abscheidung Aus Der Gasphase. 1995.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Ratz, Günter. Niedertemperatur-Silicium-Epitaxie Durch Plasmaunterstützte Chemische Abscheidung Aus Der Gasphase. 1995.
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