Niedertemperatur-Silicium-Epitaxie durch plasmaunterstützte chemische Abscheidung aus der Gasphase:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person: Ratz, Günter (VerfasserIn)
Format: Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: 1995
Schlagwörter:
Umfang:138 S. Ill., graph. Darst.
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Signatur: 0001 DM 17914 Lageplan
Exemplar 1 Ausleihbar Am Standort