Untersuchungen zur Trockenätzung von Silizium mit Cl 2 + HBr und Anwendungen bei der Endpunkterkennung:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
1997
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| Beschreibung: | Regensburg, Univ., Diplomarbeit, 1997 |
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