Availability: Mikromechanischer kapazitiver Differenzdrucksensor mit hoher Überlastfestigkeit in Silicium-Glas-Technologie

Mikromechanischer kapazitiver Differenzdrucksensor mit hoher Überlastfestigkeit in Silicium-Glas-Technologie:

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Main Author:	Hein, Stefan (Author)
Format:	Thesis/Dissertation Book
Language:	German
Published:	Berlin Köster 1996
Edition:	1. Aufl.
Series:	Wissenschaftliche Schriftenreihe Elektrotechnik 14
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