Verfügbarkeit: Mikromechanischer kapazitiver Differenzdrucksensor mit hoher Überlastfestigkeit in Silicium-Glas-Technologie

Mikromechanischer kapazitiver Differenzdrucksensor mit hoher Überlastfestigkeit in Silicium-Glas-Technologie:

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Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Hein, Stefan (VerfasserIn)
Format:	Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Berlin Köster 1996
Ausgabe:	1. Aufl.
Schriftenreihe:	Wissenschaftliche Schriftenreihe Elektrotechnik 14
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ISBN:	389574140X

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