Versagensverhalten von einkristallinem Silizium an scharfen Kerben:
Gespeichert in:
| Beteilige Person: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1995
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 18]
185 |
| Schlagwörter: | |
| Links: | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007037654&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| Beschreibung: | Zugl.: Diss., 1995 |
| Umfang: | IX, 134 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3183185180 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV010556981 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19960228 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 960110s1995 xx ad|| m||| 00||| ger d | ||
| 016 | 7 | |a 946399751 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3183185180 |9 3-18-318518-0 | ||
| 035 | |a (OCoLC)75687685 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV010556981 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91G |a DE-210 |a DE-83 | ||
| 084 | |a UF 1800 |0 (DE-625)145565: |2 rvk | ||
| 084 | |a WER 320d |2 stub | ||
| 084 | |a MTA 035d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Heinzelmann, Michael |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Versagensverhalten von einkristallinem Silizium an scharfen Kerben |c Michael Heinzelmann |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI-Verl. |c 1995 | |
| 300 | |a IX, 134 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 18] |v 185 | |
| 500 | |a Zugl.: Diss., 1995 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mechanisches Versagen |0 (DE-588)4343948-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Zähigkeit |0 (DE-588)4067259-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Kerbwirkung |0 (DE-588)4192133-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Einkristall |0 (DE-588)4013901-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Einkristall |0 (DE-588)4013901-3 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Kerbwirkung |0 (DE-588)4192133-1 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Zähigkeit |0 (DE-588)4067259-1 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Mechanisches Versagen |0 (DE-588)4343948-2 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a 18] |t Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI |v 185 |w (DE-604)BV001902156 |9 185 | |
| 856 | 4 | 2 | |m HBZ Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007037654&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007037654 | |
Datensatz im Suchindex
| DE-BY-TUM_call_number | 0701 65 B 276-18,185 |
|---|---|
| DE-BY-TUM_katkey | 667346 |
| DE-BY-TUM_location | Mag |
| DE-BY-TUM_media_number | 040070071419 |
| _version_ | 1821930991428567040 |
| adam_text | Titel: Versagensverhalten von einkristallinem Silizium an scharfen Kerben
Autor: Heinzelmann, Michael
Jahr: 1995
INHALTSVERZEICHNIS Verzeichnis der wichtigsten Abkürzungen und Symbole 1. Einleitung 1 2. Grundlagen 3 2.1. Einkristallines Silizium als Werkstoff 3 2.1.1. Struktur und Anisotropie des Materials 3 2.1.2. Strukturierung von einkristallinem Silizium durch 5 anisotropes Ätzen 2.2. Elastizitätstheoretische Grundlagen 8 2.2.1 Elastisches Verhalten anisotroper Werkstoffe 8 2.2.2. Das Spannungsfeld vor Kerben in isotropen 12 Werkstoffen 2.2.3. Das Spannungsfeld vor Kerben in anisotropen 16 Werkstoffen 3. Aufstellen eines Versagenskriteriums und Vorgehen bei der 23 Ermittlung des Versagenskennwertes für jeweils festen Kerbwinkel 3.1 . Aufstellung eines Versagenskriteriums 23 3.2. Vorgehen bei der Ermittlung des Versagenskennwertes 24 3.2.1. Versuchsproben 24 3.2.2. Versuchsdurchführung 27 3.2.3. Rechnerische Vorgehensweise 28 4. Numerische Ergebnisse 31 4.1. Grundlegender Zusammenhang zwischen der Kerbtiefe a und 31 dem Kerbspannungsintensitätsfaktor Ai in Biegeproben 4.2. Rechnerische Ergebnisse für die konkreten Kerbgeometrien 36 4.2.1. 71° Kerbe 38 4.2.2. 90°(ioo) Kerbe 39 4.2.3. 90°{1 11 } Kerbe 41 4.2.4. 109° Kerbe 42 4.2.5. 125° Kerbe 43 4.2.6. 135° Kerbe 45 4.2.7. 145° Kerbe 47 5. Experimentelle Ergebnisse 49 5.1. Grundlagen 49 5.1.1. Grundlagen zur Interpretation von Bruchflächen 49 spröder Werkstoffe 5.1.2. Struktur anisotrop geätzter Kristallflächen in Silizium 52 5.2. Versuchsergebnisse 55 5.2.1. 71° Kerbe 55 5.2.2. 90°(ioo} Kerbe 59 V
5.2.3. 90°{1 11 } Kerbe 66 5.2.4. 109° Kerbe 68 5.2.5. 125° Kerbe 70 5.2.6. 135° Kerbe 72 5.2.7 145° Kerbe 75 6. Interpretation der Ergebnisse 77 6.1. Einige Grundlagen 78 6.1.1. Welche Kerböffnungen eignen sich für eine 78 vergleichende Interpretation? 6.1.2. Ermittlung der zur Instabilität führenden 78 Spannungskomponente 6.1.3. Atomarer Kraft-Abstands-Verlauf und theroetische 80 Festigkeit von Werkstoffen 6.2. d* Kriterium 84 6.2.1. Einfluß der Anisotropie und Vergleich mit den 86 experimentellen Ergebnissen 6.3. Kriterium atomare Kerbausrundung 89 6.3.1. Orowans Rechnung für einen Riß 89 6.3.2. Anwendung auf Kerben 91 6.3.3. Einfluß der Anisotropie und Vergleich mit den 96 experimentellen Ergebnissen 6.4. Ein Kohäsivzonenmodell 97 6.4.1. Einfluß der Anisotropie 102 7. Untersuchungen zum Bruchverhalten unter überlagerter Zug- 104 und Scherbeanspruchung 7.1. Der asymmetrische 4-Punkt-Biegeversuch 104 7.2. Experimentelle Ergebnisse an 71 ° Kerben 108 7.3. Interpretation der Versuchsergebnisse 111 8. Dimensionierung mikromechanischer Bauteile mit dem A-ic 116 Konzept 8.1. Dimensionierung eines Beschleunigungssensors 116 8.2. Zur Anwendbarkeit des A 1C Konzeptes bei isotroper 118 Überätzung 8.3. Zur Anwendbarkeit des A 1C Konzeptes bei räumlichen Ecken 119 8.3.1. Die Submodelltechnik 120 8.3.1. Zwei Beispiele 121 9. Zusammenfassung 124 Anhang 128 Literaturverzeichnis 129 VI
|
| any_adam_object | 1 |
| author | Heinzelmann, Michael |
| author_facet | Heinzelmann, Michael |
| author_role | aut |
| author_sort | Heinzelmann, Michael |
| author_variant | m h mh |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV010556981 |
| classification_rvk | UF 1800 |
| classification_tum | WER 320d MTA 035d |
| ctrlnum | (OCoLC)75687685 (DE-599)BVBBV010556981 |
| discipline | Physik Werkstoffwissenschaften / Fertigungstechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02066nam a2200505 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV010556981</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19960228 </controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">960110s1995 xx ad|| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">946399751</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3183185180</subfield><subfield code="9">3-18-318518-0</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)75687685</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV010556981</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91G</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">UF 1800</subfield><subfield code="0">(DE-625)145565:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">WER 320d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MTA 035d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Heinzelmann, Michael</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Versagensverhalten von einkristallinem Silizium an scharfen Kerben</subfield><subfield code="c">Michael Heinzelmann</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">1995</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IX, 134 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 18]</subfield><subfield code="v">185</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Diss., 1995</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mechanisches Versagen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4343948-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Zähigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4067259-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Kerbwirkung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4192133-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Einkristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4013901-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Einkristall</subfield><subfield code="0">(DE-588)4013901-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Kerbwirkung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4192133-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Zähigkeit</subfield><subfield code="0">(DE-588)4067259-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Mechanisches Versagen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4343948-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">18]</subfield><subfield code="t">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI</subfield><subfield code="v">185</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV001902156</subfield><subfield code="9">185</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">HBZ Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007037654&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007037654</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV010556981 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-12-20T09:56:36Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3183185180 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-007037654 |
| oclc_num | 75687685 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91G DE-BY-TUM DE-210 DE-83 |
| owner_facet | DE-91G DE-BY-TUM DE-210 DE-83 |
| physical | IX, 134 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1995 |
| publishDateSearch | 1995 |
| publishDateSort | 1995 |
| publisher | VDI-Verl. |
| record_format | marc |
| series2 | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 18] |
| spellingShingle | Heinzelmann, Michael Versagensverhalten von einkristallinem Silizium an scharfen Kerben Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Mechanisches Versagen (DE-588)4343948-2 gnd Zähigkeit (DE-588)4067259-1 gnd Kerbwirkung (DE-588)4192133-1 gnd Einkristall (DE-588)4013901-3 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4343948-2 (DE-588)4067259-1 (DE-588)4192133-1 (DE-588)4013901-3 (DE-588)4113937-9 |
| title | Versagensverhalten von einkristallinem Silizium an scharfen Kerben |
| title_auth | Versagensverhalten von einkristallinem Silizium an scharfen Kerben |
| title_exact_search | Versagensverhalten von einkristallinem Silizium an scharfen Kerben |
| title_full | Versagensverhalten von einkristallinem Silizium an scharfen Kerben Michael Heinzelmann |
| title_fullStr | Versagensverhalten von einkristallinem Silizium an scharfen Kerben Michael Heinzelmann |
| title_full_unstemmed | Versagensverhalten von einkristallinem Silizium an scharfen Kerben Michael Heinzelmann |
| title_short | Versagensverhalten von einkristallinem Silizium an scharfen Kerben |
| title_sort | versagensverhalten von einkristallinem silizium an scharfen kerben |
| topic | Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Mechanisches Versagen (DE-588)4343948-2 gnd Zähigkeit (DE-588)4067259-1 gnd Kerbwirkung (DE-588)4192133-1 gnd Einkristall (DE-588)4013901-3 gnd |
| topic_facet | Silicium Mechanisches Versagen Zähigkeit Kerbwirkung Einkristall Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=007037654&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV001902156 |
| work_keys_str_mv | AT heinzelmannmichael versagensverhaltenvoneinkristallinemsiliziumanscharfenkerben |
Inhaltsverzeichnis
Paper/Kapitel scannen lassen
Paper/Kapitel scannen lassen
Bibliotheksmagazin
| Signatur: |
0701 65 B 276-18,185 Lageplan |
|---|---|
| Exemplar 1 | Ausleihbar Am Standort |