Kapazitiver mikromechanischer Beschleunigungssensor auf der Basis eines schneidengelagerten Drehpendels:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person: Schäfer, André (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: 1993
Schlagwörter:
Beschreibung:Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 1993
Umfang:136 S. Ill., graph. Darst.
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Signatur: 0001 DA 94 694
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