Verfügbarkeit: Entwicklung von Restrukturierungselementen zur Integration auf Waferebene

Entwicklung von Restrukturierungselementen zur Integration auf Waferebene:

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Brock, Reinhard (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	1985
Schlagwörter:	Elektronenstrahllithografie Integrierte Schaltung Hochschulschrift Restrukturierungselement
Beschreibung:	Aachen, Techn. Hochsch., Diss.
Umfang:	II, 123 S. graph. Darst.

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