Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren:
Gespeichert in:
| Beteilige Person: | |
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| Format: | Hochschulschrift/Dissertation Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
1992
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| Beschreibung: | Auch als: Bericht des Kernforschungszentrums Karlsruhe KFK ; 5088 |
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