Entwicklung, Optimierung und Test von elektrostatischen Mikromotoren nach dem LIGA-Verfahren:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteiligte Personen: Wallrabe, Ulrike (VerfasserIn), Bley, Peter (VerfasserIn), Mohr, Jürgen (VerfasserIn)
Format: Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: Karlsruhe Kernforschungszentrum 1992
Ausgabe:Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK 5088
Schlagwörter:
Beschreibung:Zsfassung in engl. Sprache
Umfang:83 S. Ill., graph. Darst.
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Signatur: 0011 KfK 5088
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