Verfügbarkeit: Zur Anwendung der Kurzzeit-Prozeßtechnik in der MOS-Technologie

Zur Anwendung der Kurzzeit-Prozeßtechnik in der MOS-Technologie:

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person:	Heyers, Klaus-Walter (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Aachen Shaker 1992
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Reihe Elektrotechnik
Schlagwörter:	MOS Kurzzeitverfahren Halbleitertechnologie MOS-Schaltung Verfahrenstechnik Rapid thermal processing Hochschulschrift
Beschreibung:	Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1992
Umfang:	145 S. graph. Darst.
ISBN:	3861112744

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