Untersuchungen zur elektronenlithografischen Herstellung von Belichtungsschablonen für Interdigitalwandlerstrukturen von AOW-Bauelementen:
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| Veröffentlicht: |
1986
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| Beschreibung: | Dresden, Ingenieurhochsch., Diss. A, 1986 (Nicht für den Austausch) |
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Paper/Kapitel scannen lassen
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