Phasenkonjugierende Abbildung durch stimulierte Brillouinstreuung in flüssigen und gasförmigen Medien bei 248 nm und deren Anwendung zur Photolithographie:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person: Pfau, Anton (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Deutsch
Englisch
Veröffentlicht: Garching bei München 1990
Schriftenreihe:Max-Planck-Institut für Quantenoptik <Garching, München>: Max-Planck-Institut für Quantenoptik 152
Schlagwörter:
Beschreibung:Zugl.: München, Univ., Diss., 1989
Umfang:120 S. Ill., graph. Darst.