Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter:
Gespeichert in:
| Beteiligte Personen: | , , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum
1990
|
| Ausgabe: | Als Ms. vervielf. |
| Schriftenreihe: | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK
4702 |
| Schlagwörter: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. B. Anderer, 1989 |
| Umfang: | 95 S. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV004046980 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19910109 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 900820s1990 gw d||| t||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)722107062 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV004046980 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-12 |a DE-91 | ||
| 084 | |a ELT 287f |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 393f |2 stub | ||
| 088 | |a KfK 4702 | ||
| 100 | 1 | |a Anderer, Boris |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter |c B. Anderer ; W. Ehrfeld ; J. Mohr. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Inst. für Mikrostrukturtechnik |
| 246 | 1 | 3 | |a KfK 4702 |
| 250 | |a Als Ms. vervielf. | ||
| 264 | 1 | |a Karlsruhe |b Kernforschungszentrum |c 1990 | |
| 300 | |a 95 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK |v 4702 | |
| 500 | |a Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. B. Anderer, 1989 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Beugungsgitter |0 (DE-588)4122915-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Röntgenlithografie |0 (DE-588)4178314-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Wellenlängenmultiplexer |0 (DE-588)4212982-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Gitterspektrograph |0 (DE-588)4157391-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |8 1\p |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Wellenlängenmultiplexer |0 (DE-588)4212982-5 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Gitterspektrograph |0 (DE-588)4157391-2 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Röntgenlithografie |0 (DE-588)4178314-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Röntgenlithografie |0 (DE-588)4178314-1 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Wellenlängenmultiplexer |0 (DE-588)4212982-5 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Beugungsgitter |0 (DE-588)4122915-0 |D s |
| 689 | 1 | |8 2\p |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Ehrfeld, Wolfgang |d 1938- |e Verfasser |0 (DE-588)172060230 |4 aut | |
| 700 | 1 | |a Mohr, Jürgen |e Verfasser |4 aut | |
| 830 | 0 | |a Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK |v 4702 |w (DE-604)BV000904814 |9 4702 | |
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 883 | 1 | |8 2\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002531842 | |
Datensatz im Suchindex
| DE-BY-TUM_call_number | 0011 KfK 4702 |
|---|---|
| DE-BY-TUM_katkey | 501090 |
| DE-BY-TUM_location | Mag |
| DE-BY-TUM_media_number | TEMP1918090 |
| _version_ | 1821937054232084481 |
| any_adam_object | |
| author | Anderer, Boris Ehrfeld, Wolfgang 1938- Mohr, Jürgen |
| author_GND | (DE-588)172060230 |
| author_facet | Anderer, Boris Ehrfeld, Wolfgang 1938- Mohr, Jürgen |
| author_role | aut aut aut |
| author_sort | Anderer, Boris |
| author_variant | b a ba w e we j m jm |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV004046980 |
| classification_tum | ELT 287f PHY 393f |
| ctrlnum | (OCoLC)722107062 (DE-599)BVBBV004046980 |
| discipline | Physik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| edition | Als Ms. vervielf. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02307nam a2200553 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV004046980</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19910109 </controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">900820s1990 gw d||| t||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)722107062</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV004046980</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-12</subfield><subfield code="a">DE-91</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 287f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 393f</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="088" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">KfK 4702</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Anderer, Boris</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter</subfield><subfield code="c">B. Anderer ; W. Ehrfeld ; J. Mohr. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Inst. für Mikrostrukturtechnik</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">KfK 4702</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. vervielf.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Karlsruhe</subfield><subfield code="b">Kernforschungszentrum</subfield><subfield code="c">1990</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">95 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK</subfield><subfield code="v">4702</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. B. Anderer, 1989</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Beugungsgitter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4122915-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Röntgenlithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4178314-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Wellenlängenmultiplexer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4212982-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gitterspektrograph</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157391-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Wellenlängenmultiplexer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4212982-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Gitterspektrograph</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157391-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Röntgenlithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4178314-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Röntgenlithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4178314-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Wellenlängenmultiplexer</subfield><subfield code="0">(DE-588)4212982-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Beugungsgitter</subfield><subfield code="0">(DE-588)4122915-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Ehrfeld, Wolfgang</subfield><subfield code="d">1938-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)172060230</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Mohr, Jürgen</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK</subfield><subfield code="v">4702</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000904814</subfield><subfield code="9">4702</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002531842</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | 1\p (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV004046980 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-12-20T08:12:47Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002531842 |
| oclc_num | 722107062 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-12 DE-91 DE-BY-TUM |
| physical | 95 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1990 |
| publishDateSearch | 1990 |
| publishDateSort | 1990 |
| publisher | Kernforschungszentrum |
| record_format | marc |
| series | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK |
| series2 | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK |
| spellingShingle | Anderer, Boris Ehrfeld, Wolfgang 1938- Mohr, Jürgen Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK Beugungsgitter (DE-588)4122915-0 gnd Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 gnd Wellenlängenmultiplexer (DE-588)4212982-5 gnd Gitterspektrograph (DE-588)4157391-2 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4122915-0 (DE-588)4178314-1 (DE-588)4212982-5 (DE-588)4157391-2 (DE-588)4113937-9 |
| title | Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter |
| title_alt | KfK 4702 |
| title_auth | Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter |
| title_exact_search | Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter |
| title_full | Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter B. Anderer ; W. Ehrfeld ; J. Mohr. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Inst. für Mikrostrukturtechnik |
| title_fullStr | Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter B. Anderer ; W. Ehrfeld ; J. Mohr. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Inst. für Mikrostrukturtechnik |
| title_full_unstemmed | Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter B. Anderer ; W. Ehrfeld ; J. Mohr. Kernforschungszentrum Karlsruhe, Inst. für Mikrostrukturtechnik |
| title_short | Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter |
| title_sort | grundlagen fur die rontgentiefenlithographische herstellung eines planaren wellenlangen demultiplexers mit selbstfokussierendem reflexionsbeugungsgitter |
| topic | Beugungsgitter (DE-588)4122915-0 gnd Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 gnd Wellenlängenmultiplexer (DE-588)4212982-5 gnd Gitterspektrograph (DE-588)4157391-2 gnd |
| topic_facet | Beugungsgitter Röntgenlithografie Wellenlängenmultiplexer Gitterspektrograph Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV000904814 |
| work_keys_str_mv | AT andererboris grundlagenfurdierontgentiefenlithographischeherstellungeinesplanarenwellenlangendemultiplexersmitselbstfokussierendemreflexionsbeugungsgitter AT ehrfeldwolfgang grundlagenfurdierontgentiefenlithographischeherstellungeinesplanarenwellenlangendemultiplexersmitselbstfokussierendemreflexionsbeugungsgitter AT mohrjurgen grundlagenfurdierontgentiefenlithographischeherstellungeinesplanarenwellenlangendemultiplexersmitselbstfokussierendemreflexionsbeugungsgitter AT andererboris kfk4702 AT ehrfeldwolfgang kfk4702 AT mohrjurgen kfk4702 |
Paper/Kapitel scannen lassen
Bibliotheksmagazin
| Signatur: |
0011 KfK 4702 Lageplan |
|---|---|
| Exemplar 1 | Ausleihbar Am Standort |