Neue Photoresists für die Mikroelektronik, ihre Modellverbindungen und deren Reaktionen in Lösung und in der Schmelze:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person: Müller, Harald (VerfasserIn)
Format: Hochschulschrift/Dissertation Buch
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: 1989
Schlagwörter:
Umfang:307, A16 S. Ill., graph. Darst.
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Signatur: 0001 DA 91 1248 Lageplan
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