Grundlagen der Elektrodiffusion zur Zuverlässigkeitsverbesserung von AL-Leitbahnen für hochintegrierte Schaltungen:
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| Format: | Hochschulschrift/Dissertation Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verlag
1985
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| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI. Reihe 9
54 |
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| Beschreibung: | Als Ms. gedr. |
| Umfang: | VI, 242 Seiten Illustrationen, Diagramme |
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