Verfügbarkeit: Halbleiterprüfung | Technische Universität München

Halbleiterprüfung: Licht- und Rasterelektronenmikroskopie ; mit 12 Tabellen

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Beteiligte Personen:	Schäfer, Wolfgang (VerfasserIn), Terlecki, Georg 1945- (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Heidelberg Hüthig 1986
Schlagwörter:	Halbleiter Rasterelektronenmikroskopie Optik Mikroskopie Prüftechnik
Beschreibung:	Literaturangaben
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