Endbericht über die Ergebnisse der Vorprojektstudie von COSY MicroTec GmbH, Berlin und KfK zum Bau einer kompakten Synchrotronstrahlungsquelle für die Röntgentiefenlithographie im Kernforschungszentrum Karlsruhe:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | Nichtbestimmte Sprache |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
1989
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| Ausgabe: | Als Ms. vervielf. |
| Schriftenreihe: | Kernforschungszentrum Karlsruhe / Kernforschungszentrum <Karlsruhe>
4505 |
| Umfang: | 30 S. |
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