Influence of substrate reactivity on chemical vapour deposition processes:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person: Boman, Mats (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Uppsala 1986
Schriftenreihe:Uppsala Universitet: Acta Universitatis Upsaliensis / Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the Faculty of Science 56
Schlagwörter:
Beschreibung:Zugl.: Uppsala, Univ., Diss., 1986
Umfang:27 S. Ill.
ISBN:9155419232